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k8凯发官网,工信部公布了重大技术工业设备推广目录:氟化氩光刻机2024-11-27 09:37:19

  根据中国政府网微信公众号显示,重大技术装备是国之重器,凯时k8官网下载事关综合国力和。中国首台(套)重大技术装备是指国内实现重大技术突破k8凯发官网、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品,包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

  而根据《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》显示,在电子专用装备目录下,集成电路设备方面:氟化氩光刻机,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。